מטרת התזת נחושת משמשת למגוון יישומי סרט דק כולל כחומר מוליך בהתקני לוגיקה וזיכרון. פאבמן יכול לספק חומרי יעד נחושת מובחרים בשוויון שונה כגון 4N (99.99%), 4N5 (99.995%) ו-5N (99.999%) עבור מערכות OEM PVD (השקעת אדים פיזית), ואנו מתמקדים רבות בעיבוד תרמו-מכני מתקדם (ATMP) ) כדי להבטיח איכות טובה יותר של מרקם גבישי וגודל גרגירים לביצועים גבוהים במיוחד עם מינימום עלות. אנו יכולים לספק חומרי מטרה סיבוביים ומישוריים של מטרת נחושת עם גודל גרגר קטן מ-80 מיקרומטר ותכולת חמצן פחות מ-5ppm.
תהליך ייצור של יעד נחושת מישורית
בקרת תהליך הייצור חיונית להבטחת חומרי מטרה מתיז נחושת באיכות גבוהה, ובדרך כלל יש לה את השלבים הבאים:
√ ייצור מטילי נחושת בטוהר גבוה באמצעות זיקוק אלקטרוליטי, התכת אינדוקציה בוואקום, והתכת קרן אלקטרונים בוואקום.
√ שלב שני הוא לגרום למטיל הנחושת לעבור חישול חם, טיפול בחום, חישול קר וטיפול בחום ברצף לקבלת טיפול מוקדם
חלקי נחושת.
√ ריק הנחושת שטופל מראש עובר לאחר מכן גלגול חם, טיפול בחום, גלגול קר וטיפול בחום ברצף כדי להשיג יעד נחושת
רֵיק.
√ הסר את העור של חלקי יעדי נחושת
√ בצע עבודת עיבוד בהתאמה אישית להשגת המידות הסופיות וגימור פני השטח הרצויים, ויש צורך להתיז נוזל קירור למניעת צינור נחושת
מטרה לעיוות עקב מתח עיבוד.
√ לאחר השחזה והברקה מתקבל חומר מטרת הנחושת המוגמר.
מימד מטרת נחושת מישורית
√ 750 x 250 (T:20 מ"מ),
1200 x 250 (T:20 מ"מ),
914 x 914 (T:12 מ"מ),
500 x 500 (T:4 מ"מ),
ממד מותאם אישית עם אורך מקסימלי עד 3,000 מ"מ
√ יעד מותאם אישית עם CNC, קידוח, הברגה, שיפוע וחריצים
√ קוטר מטרה מישורית מעגלית מ-2 אינץ' עד 6 אינץ' עם 1/8 אינץ' או 1/4 אינץ'
√ שירות הדבקה זמין
תהליך ייצור של יעד נחושת מסתובב
מטרות מקרטעות מסתובבות, הידועות גם כקטודות מסתובבות או מטרות מסתובבות, הן חומרים מיוחדים המשמשים בטכניקת שקיעה מקרטעת הנקראת קיצוץ מגנטרון. התזת הוא תהליך פיסיקלי אדי (PVD), תהליך מהיר שבו יונים סופר מהירים פוגעים במטרה מקרטעת ומוציאים חלקיקים זעירים, בשימוש נרחב בתעשיות המוליכים למחצה, האלקטרוניקה והסרטים הדקים כדי להפקיד סרטים דקים מחומרים שונים על גבי מצעים. תהליך הייצור הסטנדרטי של מטרת נחושת סיבובית מתחיל מהתכת ואקום, יציקה של מטילי נחושת אלקטרוליטיים, ושיחול חם ועיבוד של מטילי. ראשית, מטיל הנחושת בטוהר גבוה מיוצר באמצעות התכה בוואקום, ולאחר מכן הוא מוחלף בחום לריק של צינור נחושת. לאחר מכן מיישרים אותו על ידי מכונת כיול הידראולית כדי להשיג ישרות של פחות מ-1 מ"מ/מ'. לאחר מכן, ריק הצינור המיושר עובר עיבוד מדויק במכונת CNC לדיוק הממדים שלו, בינתיים חספוס פני השטח יעמוד בדרישות שצוינו. להלן תהליך ייצור מפורט:
√ הנחושת האלקטרוליטית בעלת הטוהר הגבוה מוכנסת לתנור היתוך אינדוקציה בוואקום, ולאחר מכן מתבצעת התכה בוואקום.
√ הנחושת המותכת המתקבלת מוזרמת לתוך המגבש של תנור היציקה עבור מטיל נחושת עגול;
√ מטיל הנחושת מועבר לאחר מכן לחבית האקסטרוזיה לצורך שחול חם, והוא דורש לחץ מינימלי של 25KN עם טמפרטורה של 400-500 מעלות. זה
חיוני שהלחץ יהיה גדול מספיק כדי להשיג גודל גרגר קטן מ-150 מיקרומטר במהלך תהליך שחול חם.
√ ריק צינור הנחושת מקורר באופן טבעי לטמפרטורת החדר, ולאחר מכן מיישר לאחר מכן. אם קיר צינור הנחושת גדול מ-20 מ"מ, הוא כן
יש צורך לחמם את הצינור בין 200 ~ 300 מעלות לפני היישור.
√ ריק צינור הנחושת נחתך ומעובד לפי המפרט הרצוי, ויש צורך לרסס נוזל קירור כדי למנוע עיוות של מטרת צינור הנחושת
עקב לחץ בעיבוד שבבי.
√ לאחר השחזה והליטוש, מתקבל חומר מטרת הנחושת הסיבובית המוגמרת.
בהשוואה ליעדים מישוריים, מטרה סיבובית מכילה יותר חומר ומציעה ניצול רב יותר, מה שאומר ריצות ייצור ארוכות יותר וזמן השבתה מופחת של המערכת, מגדיל את התפוקה של ציוד הציפוי. חוץ מזה, מטרה מקפיצה סיבובית מאפשרת שימוש בצפיפות הספק גבוהות יותר בגלל שהצטברות החום מתפזרת באופן שווה על פני השטח של המטרה. כתוצאה מכך, ניתן היה להשיג מהירות שיקוע מוגברת יחד עם ביצועים משופרים במהלך הקזת ריאקטיבית. בהשוואה למטרות מישוריות, מטרה סיבובית מכילה יותר חומר ומציעה ניצול רב יותר, מה שאומר ריצות ייצור ארוכות יותר וזמן השבתה מופחת של המערכת, מגדיל את התפוקה של ציוד הציפוי. חוץ מזה, מטרה מקפיצה סיבובית מאפשרת שימוש בצפיפות הספק גבוהות יותר בגלל שהצטברות החום מתפזרת באופן שווה על פני השטח של המטרה. כתוצאה מכך, ניתן לראות מהירות שיקוע מוגברת יחד עם ביצועים משופרים במהלך הקזת ריאקטיבית.
היתרונות של מטרת קפיצה רוטרית
√ אחידות משופרת, סיבוב המטרה עוזר להשיג שחיקה ותצהיר אחידים יותר על פני השטח שלה. כשהמטרה מסתובבת, שונה
אזורי המטרה חשופים להפצצת היונים, מה שמוביל לשיעורי שחיקה ותצהיר אחידים יותר.
√ ניצול מטרה משופר, השחיקה מתפרסת על פני שטח גדול יותר, מפחיתה נזקים מקומיים ומאריכה את תוחלת החיים של המטרה. גם זה
עוזר לשפר את יעילות התהליך ומפחית את זמן ההשבתה להחלפת יעד.
√ קצב שיקוע משופר, התנועה הסיבובית של המטרה יכולה לשפר את יעילות היינון והקפיצה, מה שמוביל לתצהיר גבוה יותר
שיעורים תוך הפחתת זמן התהליך הכולל הנדרש להשגת עובי הסרט הרצוי.
√ איכות הסרט משופרת, ניצול היעד והאחידות המשופרים יכולים לעזור למזער פגמים, זיהומים ומתח בתוך הסרטים שהופקדו,
התוצאה היא שיפור בתכונות חשמליות, אופטיות ומכניות.
מימד מטרת נחושת רוטרי
√ OD מ-2 אינץ' עד 7 אינץ'
√ מזהה מ-1.5 אינץ' עד 6 אינץ'
√ אורך מ-50 אינץ' עד 130 אינץ' (1,270 מ"מ עד 3,302 מ"מ)
√ מטרה סיבובית מותאמת אישית
√ שירות הדבקה זמין
Fabmann מתמחה באספקת מטרות קפיצת נחושת בטוהר גבוה עם הצפיפות הגבוהה ביותר האפשרית וגדלים הקטנים ביותר האפשריים לשימוש בתצוגה ויישומים אופטיים של מוליכים למחצה, שקיעת אדים כימית (CVD) ותצהיר פיסיקלי (PVD). אנו יכולים גם לספק מטרות קפיצה עם מונובלוק או מלוכדות עם מטרה מישורית עם חור והשחלה, שיפוע, חריצים וגב שתוכננו לעבוד הן עם התקני קיטור ישנים יותר כמו גם עם ציוד התהליך העדכני ביותר, כגון ציפוי שטח גדול עבור אנרגיה סולארית או תאי דלק ויישומי Flip Chip. אנו יכולים לספק פתרון ייצור מותאם אישית לכל הצורות והתצורות של מטרות התואמות את כל התותחים הסטנדרטיים, כולל ממדים עגולים, מלבניים, טבעתיים, סגלגלים, סיבוביים ומחקרים. חוץ מזה, מטרות קפיצת נחושת בטוהר גבוה, פאבמן מספקת גם לוחות נחושת רגילים נטולי חמצן בדרגות שונות כמו CW008A (C10200), CW009A (C10100), CW004A (C11000), CW0024A (C12200), ואנחנו יכולים לספק גם לוחות עבים. צלחות בעובי של עד 30 מ"מ.
תגיות פופולריות: מטרת קרז נחושת, סין, יצרנים, ספקים, מפעל, מותאם אישית
